当前位置: 首页» 中标结果公告

华北电力大学微纳结构表面加工系统项目(二次)中标公告

时间:2018-08-30     

  中国机电工程招标有限公司受华北电力大学的委托,就“华北电力大学微纳结构表面加工系统项目(二次)”项目(项目编号:CMEETC-187DK312FF30 )组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:

 

 

一、项目信息

项目编号:CMEETC-187DK312FF30

项目名称:华北电力大学微纳结构表面加工系统项目(二次)

项目联系人:王娜

联系方式:010-88018616转8079、17810338559

 

二、采购单位信息

采购单位名称:华北电力大学

采购单位地址:北京昌平区回龙观北农路2号

采购单位联系方式:吴老师 010-61772996

 

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:

 

招标用途:自用

招标内容:

本次招标共1包:主要采购内容为:紫外激光微加工系统、微流控芯片加工系统、微纳结构表面镀膜光刻系统(详见第九章招标需求)。

招标范围包括:上述货物的供应、安装、调试及有关的服务具体采购范围及所应达到的具体要求,以本采购文件中商务、技术和服务的相应规定为准。投标人的投标文件必须满足本次采购的实质目的,完全实现所应有的全部要求。投标人若存在任何理解上无法正确确定之处,均应当按照招标文件所规定的投标前的澄清等程序提出,否则,可能导致的任何不利后果均应当由投标人自行承担。

  1. 交货期:合同签订后120日历日

  2. 交货地点:华北电力大指定地点

招标需求一览表

品目号

招标需求

预算

(人民币)

简要要求

是否接受进口产品

1

微纳结构表面加工系统

170万元

具备微流控芯片制作、衬底片(硅、二氧化硅、氮化硅)微结构制作及光刻胶等离子体去胶功能、清洗功能。其中微纳结构表面镀膜光刻系统指标如下:超净间达到千级标准,具备匀胶、烘烤、曝光、显影、去胶功能等前处理功能。曝光线宽达2μm(2μm正胶,365nm波长情况下);微流控芯片加工系统的指标如下:曝光面积: 100mm x 100mm;分辨力:2um(胶厚2um正胶,365nm波长);对准精度:≤±1um;样片尺寸:直径?15mm-100mm,厚度0.1mm-6mm;紫外激光微加工系统指标如下:最小刻蚀宽度:2μm (对Si);最大刻蚀深度:5μm (对Si);基片尺寸:100mm x 100m;刻蚀深宽比:2:1(对Si);刻蚀均匀性:±5%(4 inch Si片);可刻蚀材料:Si, SiO2, Si3N4。

 

 

 

 

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称:中国机电工程招标有限公司

采购代理机构地址:北京市海淀区车公庄西路乙19号华通大厦B座南塔14层

采购代理机构联系方式:王娜 010-88018616转8079、17810338559

 

五、中标信息

招标公告日期:2018年08月03日

中标日期:2018年08月28日

总中标金额:169.5 万元(人民币)

中标供应商名称、联系地址及中标金额:

 

序号

中标供应商名称

中标供应商联系地址

中标金额(万元)

1

北京天鹿达科技有限公司

北京市顺义区南法信镇金关北二街3号院2号楼7层725室

169.500000

本项目招标代理费总金额:2.26 万元(人民币)

本项目招标代理费收费标准:

参照计价格【2002】1980号文件、发改办价格【2003】857号文件

 

评审专家名单:

龙寅、韩长春、葛粉利、王永涛、王晓东

 

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:

 

见其它补充事宜

 

 

六、其它补充事宜

 

序号

名称

型号

数量(台/套)

单价

1

紫外激光微加工系统

1

600000.00

2

微流控芯片加工系统

1

400000.00

3

微纳结构表面镀膜光刻系统

1

695000.00

  1. 交货期:合同签订后120日历日

  2. 交货地点:华北电力大指定地点

  3. 公示期:一个工作日